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百級無(wú)塵車(chē)間凈化


發(fā)布時(shí)間:2021-01-20 02:09:42

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百級無(wú)塵車(chē)間凈化

 
        一、百級、千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級、三十萬(wàn)級的潔凈度區別
       市場(chǎng)上比較常見(jiàn)的無(wú)塵車(chē)間潔凈度級別有百級、千級、萬(wàn)級、十萬(wàn)級、三十萬(wàn)級。百級、千級、萬(wàn)級定義是單位立方英尺空氣中含有的直徑不小于0.5μm的塵埃粒子個(gè)數分別不大于100個(gè)、1000個(gè)、10000個(gè)。百級、千級、萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的*主要的區別,就在于空氣中各粒徑檔大容許粒子濃度不一樣。
1. 百級無(wú)塵車(chē)間0.5微米的大容許粒子濃度小于3520(pc/m3),5微米的大容許粒子濃度小于293(pc/m3)。
2. 千級無(wú)塵車(chē)間0.5微米的大容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的大容許粒子濃度小于2930(pc/m3)。
3. 萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間0.5微米的大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。
也就是說(shuō)百千萬(wàn)是只灰塵數量,自然的級別數值越小,等級越高。百級無(wú)塵車(chē)間已經(jīng)是凈化級別里邊凈化指數很高,各項技術(shù)很高的凈化空間。
      二、無(wú)塵車(chē)間設計裝修工作原理:
采用垂直單向流的氣流形式,送風(fēng)先要通過(guò)初效過(guò)濾器進(jìn)行預過(guò)濾,將氣流中的大顆粒粉塵粒子處理掉。經(jīng)過(guò)預處理后的空氣,再經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器進(jìn)行二次過(guò)濾,以起到充分保護高效過(guò)濾器的作用。在離心風(fēng)機提供的壓力下,通過(guò)高效過(guò)濾器,使之達到潔凈要求。所有氣流均經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器處理,所以送風(fēng),排風(fēng)均不帶殘余粉塵,避免了二次污染。由于在工作區域形成穩定的單向流,起到保護外部環(huán)境的作用。
       三、百級無(wú)塵車(chē)間設計裝修標準
按照國際上的慣例,無(wú)塵車(chē)間設計裝修的潔凈級別主要是根據每立方米的空氣當中粒子的直徑大于標準的數量來(lái)規定的。也就是把微??刂圃谝粋€(gè)非常小的單位上,在常規當中就是說(shuō)符合微粒的顆粒在我們常見(jiàn)的灰塵當中是小的微乎其微,而對于那些生產(chǎn)上來(lái)說(shuō),哪怕一點(diǎn)點(diǎn)的,很少很少的灰塵也會(huì )產(chǎn)生很壞的負面影響的。國際上百級無(wú)塵車(chē)間設計裝修的標準的A級就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下。
當前,在芯片生產(chǎn)加工上的無(wú)塵標準的要求就是要高于A(yíng)級的,像這樣的高的要求標準主要是被應用在在一些等級較高芯片生產(chǎn)上,而業(yè)內稱(chēng)之為的1K級別的就是微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)取?br />        四、百級凈化車(chē)間設計參數
1. 溫度:22℃±2;濕度:55%±5;基本需要滿(mǎn)布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系統。還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
2. 百級無(wú)塵車(chē)間若非得用換氣次數來(lái)衡量的話(huà)200次/h以上,百級無(wú)塵車(chē)間若是以層流風(fēng)速來(lái)說(shuō)的話(huà)>0.35 m/s,
3. 百級無(wú)塵車(chē)間若以HEPA高效空氣過(guò)濾器對吊頂覆蓋率的話(huà)>50%。
      五、百級無(wú)塵車(chē)間設計裝修后的人員進(jìn)出規范
百級無(wú)塵車(chē)間設計裝修進(jìn)入過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間人員必須穿著(zhù)無(wú)塵服與無(wú)塵鞋,并嚴格按以下順序進(jìn)入過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間:
1、戴上無(wú)塵帽(頭發(fā)不可露出)。
2、戴上無(wú)塵口罩。
3、穿著(zhù)無(wú)塵衣(拉上拉鏈后,扣好頸部頭罩)。
4、穿上無(wú)塵鞋。
5、戴上手套(衣袖口須包住手套口)。
6、著(zhù)裝完成照鏡檢查服裝儀容。
7、進(jìn)入風(fēng)淋室。
8、進(jìn)入ZC風(fēng)淋室雙門(mén)互鎖后自動(dòng)吹淋,聽(tīng)從風(fēng)淋室語(yǔ)音提示,擺動(dòng)身體,吹凈時(shí)間15秒。
9、在過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間設計裝修后,動(dòng)作宜輕緩、以免影響層流及生產(chǎn)大量微塵。
10、工廠(chǎng)稽查小組對過(guò)濾器無(wú)塵車(chē)間潔凈紀律,每日不定期稽查并記錄分配各班組改善。

 
 

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